公开(公告)号：CN113748233B

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202080032068.1

申请日：2020-05-28

申请人： 株式会社荏原制作所

发明人： 神田裕之 ,  池田大成 ,  木村诚章 ,  长井瑞树

IPC分类号： C25D17/10 ,  C25D17/00 ,  C25D21/04 ,  C25D7/12

摘要： 本发明涉及一种能够抑制镀覆装置中的添加剂的消耗的阳极保持器以及镀覆装置。提出了用于保持镀覆装置中所使用的阳极的阳极保持器，上述阳极保持器具备：内部空间，形成于上述阳极保持器的内部，用于收容上述阳极；掩膜，具有多个孔，并构成为覆盖上述内部空间的前面；以及隔膜，在上述掩膜中的覆盖上述内部空间的前面的区域，该隔膜的至少一部分固定于上述掩膜。

公开(公告)号：CN113748233A

公开(公告)日：2021-12-03

申请号：CN202080032068.1

申请日：2020-05-28

申请人： 株式会社荏原制作所

发明人： 神田裕之 ,  池田大成 ,  木村诚章 ,  长井瑞树

IPC分类号： C25D17/10 ,  C25D17/00 ,  C25D21/04 ,  C25D7/12

摘要： 本发明涉及一种能够抑制镀覆装置中的添加剂的消耗的阳极保持器以及镀覆装置。提出了用于保持镀覆装置中所使用的阳极的阳极保持器，上述阳极保持器具备：内部空间，形成于上述阳极保持器的内部，用于收容上述阳极；掩膜，具有多个孔，并构成为覆盖上述内部空间的前面；以及隔膜，在上述掩膜中的覆盖上述内部空间的前面的区域，该隔膜的至少一部分固定于上述掩膜。