发明公开
- 专利标题: 一种紧凑型超高温加热台及高温加热设备
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申请号: CN202110990364.9申请日: 2021-08-26
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公开(公告)号: CN113802187A公开(公告)日: 2021-12-17
- 发明人: 李浩 , 丁丁 , 魏伟 , 龚忠苗
- 申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 申请人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 代理机构: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司
- 代理商 孙伟峰; 阳志全
- 主分类号: C30B33/04
- IPC分类号: C30B33/04
摘要:
本发明公开了一种紧凑型超高温加热台及设备,该超高温加热台包括安装法兰、两根支撑杆和样品台,每根支撑杆的一端连接样品台,另一端固定在安装法兰上;样品台内置加热源,以对样品台上的样品加热;每根支撑杆的内部中空而形成冷却液通道,样品台内开设有同时连通两个冷却液通道的空腔,两根支撑杆的伸出安装法兰的端部分别为冷却液的进口和出口。本发明的支撑杆兼做水冷管,利用其将样品台固定在安装法兰上的同时,还提供冷却液的传输通道,使得超高温的样品台可以安装在尺寸更小的法兰基座上,有利于提高结构的紧凑性。与此同时,本发明还采用电子束反射聚焦结构,提高了加热效率,实现达到2000K高温指标的同时满足CF35等小尺寸法兰安装的要求。
IPC分类: