光学滤波器、制造方法及环境光传感器
摘要:
本发明提供了一种光学滤波器、制造方法及环境光传感器,包括:衬底、光敏元器件、第一介质层、第一反射镜层、第一干涉层、第二反射镜层以及第二介质层;所述光敏元器件位于所述衬底内,所述第一介质层的下表面连接所述衬底和所述光敏元器件的上表面,所述第一反射镜层的下表面连接所述第一介质层的上表面,所述第一干涉层的下表面连接所述第一反射镜层的上表面,所述第二反射镜层的下表面连接所述第一干涉层的上表面,所述第二介质层的下表面连接所述第二反射镜层的上表面。本发明提出了一种兼容CMOS工艺的反射镜方案,在不降低滤波性能的基础上,可以降低制造成本,最大程度降低加工过程中工厂切换带来的麻烦。
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