公开(公告)号：CN113865701B

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202111131418.2

申请日：2021-09-26

申请人： 上海申矽凌微电子科技股份有限公司

发明人： 於广军

IPC分类号： G01J1/04 ,  G02B5/28

摘要： 本发明提供了一种光学滤波器、制造方法及环境光传感器，包括：衬底、光敏元器件、第一介质层、第一反射镜层、第一干涉层、第二反射镜层以及第二介质层；所述光敏元器件位于所述衬底内，所述第一介质层的下表面连接所述衬底和所述光敏元器件的上表面，所述第一反射镜层的下表面连接所述第一介质层的上表面，所述第一干涉层的下表面连接所述第一反射镜层的上表面，所述第二反射镜层的下表面连接所述第一干涉层的上表面，所述第二介质层的下表面连接所述第二反射镜层的上表面。本发明提出了一种兼容CMOS工艺的反射镜方案，在不降低滤波性能的基础上，可以降低制造成本，最大程度降低加工过程中工厂切换带来的麻烦。