发明公开
CN113969391A 掩模及掩模制造方法
审中-实审
- 专利标题： 掩模及掩模制造方法
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申请号： CN202110734086.0申请日： 2021-06-30
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公开(公告)号： CN113969391A公开(公告)日： 2022-01-25
- 发明人: 赵俊豪 , 朴永浩 , 宋昇勇 , 李宁哲 , 崔玲硕
- 申请人： 三星显示有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道龙仁市
- 专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道龙仁市
- 代理机构： 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 习瑞恒; 全振永
- 优先权： 10-2020-0091548 20200723 KR
- 主分类号： C23C14/04
- IPC分类号： C23C14/04 ; C23C16/04 ; H01L51/56
摘要：
本发明涉及一种掩模及掩模制造方法。根据本发明的一实施例，掩模制造方法包括如下步骤：在工作台上提供限定多个单元开口部的掩模框架；在所述多个单元开口部中的每一个，提供限定多个第一区域以及布置于所述多个第一区域中的每一个周围的第二区域的单元掩模材料；向所述第二区域照射激光束以使所述第二区域固化；以及去除所述多个第一区域而形成布置于所述多个单元开口部的单元掩模。
IPC分类:
