掩模及掩模制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113969391A

    公开(公告)日:2022-01-25

    申请号:CN202110734086.0

    申请日:2021-06-30

    IPC分类号: C23C14/04 C23C16/04 H01L51/56

    摘要: 本发明涉及一种掩模及掩模制造方法。根据本发明的一实施例,掩模制造方法包括如下步骤:在工作台上提供限定多个单元开口部的掩模框架;在所述多个单元开口部中的每一个,提供限定多个第一区域以及布置于所述多个第一区域中的每一个周围的第二区域的单元掩模材料;向所述第二区域照射激光束以使所述第二区域固化;以及去除所述多个第一区域而形成布置于所述多个单元开口部的单元掩模。

    沉积掩模单元
    3.
    发明公开
    沉积掩模单元 审中-公开

    公开(公告)号:CN111477767A

    公开(公告)日:2020-07-31

    申请号:CN202010060829.6

    申请日:2020-01-19

    IPC分类号: H01L51/56 H01L27/32

    摘要: 提供了一种沉积掩模单元,所述沉积掩模单元包括:沉积掩模片,包括多个开口;以及沉积掩模框架,包括凸起部,沉积掩模片在凸起部处可附着到沉积掩模框架,凸起部包括支撑部以及从支撑部的上表面突出的接合部,接合部的上表面是弯曲的。

    掩模组件、制造掩模组件的设备和修复掩模组件的方法

    公开(公告)号:CN117444390A

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202310920220.5

    申请日:2023-07-26

    摘要: 本公开涉及一种制造掩模组件的设备、一种修复掩模组件的方法以及一种掩模组件。所述制造掩模组件的设备(也被称为掩模组件制造设备)包括载物台和拉伸器。设置在所述载物台上的初步掩模组件包括开口掩模和框架,所述开口掩模包括第一开口和第二开口,所述框架连接到所述开口掩模。所述拉伸器使单位掩模在第一方向上拉伸,所述单位掩模包括单元区域和保持区域,所述单元区域包括沉积开口,所述保持区域从所述单元区域延伸。所述单元区域具有平行于所述第一方向的第一宽度和平行于与所述第一方向相交的第二方向并且大于所述第一宽度的第二宽度。

    掩模组件和掩模组件制造方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117858594A

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202311241722.1

    申请日:2023-09-25

    摘要: 本公开涉及一种掩模组件和一种掩模组件制造方法。所述掩模组件包括:框架,包含连接以限定框架开口的第一侧部至第四侧部;开口片,包含:主体部,在所述主体部中限定多个片开口,所述多个片开口在第一方向和第二方向上布置,并且与所述框架开口重叠;以及连接部,从所述主体部突出并且至少部分地与所述框架重叠;以及多个掩模,所述多个掩模各自包含:沉积部,具有限定在所述沉积部中的沉积开口;以及多个耦接部,从所述沉积部突出并且彼此间隔开,且所述沉积部在所述多个耦接部之间。所述连接部包括:第一连接部和第二连接部,与所述框架重叠;以及多个第三连接部和多个第四连接部,至少部分地与所述框架重叠。

    掩模组件和制造该掩模组件的方法

    公开(公告)号:CN117737647A

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202311216380.8

    申请日:2023-09-20

    摘要: 公开掩模组件和制造该掩模组件的方法。该掩模组件包括:开放掩模,包括第一开放开口和第二开放开口,该第一开放开口和第二开放开口被限定穿过开放掩模并且在第一方向上交替布置;第一单元掩模,分别对应于第一开放开口;以及第二单元掩模,分别对应于第二开放开口。第一单元掩模中的每一个包括:第一沉积部分,第一沉积开口被限定穿过第一沉积部分;以及第一焊接部分和第二焊接部分,分别从第一沉积部分向第一方向和与第一方向相反的方向延伸。第二单元掩模中的每一个包括:第二沉积部分,第二沉积开口被限定穿过第二沉积部分;以及第三焊接部分和第四焊接部分,分别从第二沉积部分向第二方向和与第二方向相反的方向延伸。

    掩模夹具
    10.
    发明公开
    掩模夹具 审中-实审

    公开(公告)号:CN113972150A

    公开(公告)日:2022-01-25

    申请号:CN202110801327.9

    申请日:2021-07-15

    IPC分类号: H01L21/67 H01L21/687

    摘要: 提供了一种掩模夹具。所述掩模夹具可以包括:基体板,包括中心区域和围绕中心区域的边缘区域;头部件,包括连接到基体板的边缘区域的第一表面,并且构造为在边缘区域中移动以便靠近中心区域或远离中心区域;垫部件,设置在头部件的与头部件的第一表面背对的第二表面上。边缘区域可以包括:第一边缘区域,在第一方向上延伸;第二边缘区域,在第一方向上延伸并且在与第一方向交叉的第二方向上与第一边缘区域间隔开;第三边缘区域,在第二方向上延伸;以及第四边缘区域,在第二方向上延伸并且在第一方向上与第三边缘区域间隔开。