发明公开
- 专利标题: NAND闪存器件及NAND闪存的制作方法
-
申请号: CN202111266556.1申请日: 2021-10-28
-
公开(公告)号: CN114005832A公开(公告)日: 2022-02-01
- 发明人: 刘涛
- 申请人: 上海华力微电子有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区良腾路6号
- 专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区良腾路6号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 周耀君
- 主分类号: H01L27/11524
- IPC分类号: H01L27/11524 ; H01L21/768 ; H01L27/11529 ; H01L27/11536
摘要:
本发明提供了一种NAND闪存的制作方法,包括:提供衬底,并在所述衬底上形成有至少两个浮栅层,相邻浮栅层之间设置有开口,所述浮栅层上形成有第一侧墙,所述第一侧墙覆盖所述浮栅层的侧壁和顶部;形成控制栅材料层,所述控制栅材料层填充所述开口并覆盖所述第一侧墙;对控制栅材料层进行刻蚀工艺,以形成控制栅层,并且所述浮栅层处形成浮栅层残留物;进行原子层沉积氧化工艺,以形成第一氧化层,所述第一氧化层覆盖控制栅层和开口;进行快速热氧化工艺,以形成第二氧化层,快速热氧化工艺的工艺气体穿透第一氧化层去除浮栅层残留物。解决了控制栅刻蚀过程中,浮栅的残留物导致相邻浮栅短路以及漏电的问题。