本申请涉及一种柔性电容式传感器及其制备方法，包括第一保护层、第一电极层、介电层、第二电极层以及第二保护层，第一保护层与第二保护层相对设置，第一电极层与第二电极层相对设置，介电层设置于第一电极层与第二电极层之间；其中介电层远离第二电极层的表面具有空心凸起状结构。上述柔性电容式传感器制备时，通过在柔性电容式传感器的介电层表面形成具有均匀分布的空心凸起状结构，使得本申请的柔性电容式传感器在受到压力作用时，介电层表面的空心凸起状结构能产生较大的变形，可以改变介电层的有效介电常数，使测试电容迅速增大，从而提高传感器的灵敏度。