发明授权
- 专利标题: 一种IGBT器件及其制造方法
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申请号: CN202210062869.3申请日: 2022-01-20
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公开(公告)号: CN114093934B公开(公告)日: 2022-05-20
- 发明人: 李伟聪 , 姜春亮 , 雷秀芳
- 申请人: 深圳市威兆半导体有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区3号楼1301
- 专利权人: 深圳市威兆半导体有限公司
- 当前专利权人: 深圳市威兆半导体股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区3号楼1301
- 代理机构: 深圳鼎恒诚知识产权代理有限公司
- 代理商 陈俊斌; 彭愿洁
- 主分类号: H01L29/423
- IPC分类号: H01L29/423 ; H01L29/06 ; H01L29/739 ; H01L21/331 ; H01L21/28
摘要:
一种IGBT器件及其制造方法,IGBT器件包括至少一个元胞,元胞包括第一电极、第二电极以及位于第一电极和第二电极之间的半导体单元,半导体单元包括:基区、源区、漂移区以及集电区,源区和基区之间形成第一PN结,还包括沟槽栅结构以及PN结结构,PN结结构形成在栅介质层中且位于栅极的远离沟道区的至少一侧,PN结结构中的第一导电类型区与第一电极电连接,PN结结构中的第二导电类型区浮空在栅介质层中。由于在正向耐压过程中,第二导电类型区的电势会得到抬高,第二电极的电压维持不变,因此耗尽层电容上的电荷无法被泄放,第二导电类型区维持较高的电势,从而使得周围槽栅底部的电势得到抬高,从而抑制栅介质层底部的空穴堆积,而抑制位移电流的产生。
公开/授权文献
- CN114093934A 一种IGBT器件及其制造方法 公开/授权日:2022-02-25
IPC分类: