一种IGBT器件及其制造方法
摘要:
一种IGBT器件及其制造方法,IGBT器件包括至少一个元胞,元胞包括第一电极、第二电极以及位于第一电极和第二电极之间的半导体单元,半导体单元包括:基区、源区、漂移区以及集电区,源区和基区之间形成第一PN结,还包括沟槽栅结构以及PN结结构,PN结结构形成在栅介质层中且位于栅极的远离沟道区的至少一侧,PN结结构中的第一导电类型区与第一电极电连接,PN结结构中的第二导电类型区浮空在栅介质层中。由于在正向耐压过程中,第二导电类型区的电势会得到抬高,第二电极的电压维持不变,因此耗尽层电容上的电荷无法被泄放,第二导电类型区维持较高的电势,从而使得周围槽栅底部的电势得到抬高,从而抑制栅介质层底部的空穴堆积,而抑制位移电流的产生。
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