一种LDMOSFET、制备方法及芯片和电路
Abstract:
本发明实施例提供一种LDMOSFET、制备方法及芯片和电路,为了实现上述目的,本发明实施例提供一种LDMOSFET,包括:衬底,所述衬底上设有埋层;所述埋层上方设有外延层;所述外延层上方设有高压P型阱和高压N型阱;所述高压N型阱上方依次设有第一N型漂移区、P型体区和第二N型漂移区,其中,所述第一N型漂移区、P型体区和第二N型漂移区中的至少一者的上表面有凸起。该LDMOSFET不仅有效的缩小了器件的尺寸,还大大提升了器件的性能。
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