发明授权
- 专利标题: 一种半导体上料清洁一体机
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申请号: CN202111643268.3申请日: 2021-12-29
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公开(公告)号: CN114188256B公开(公告)日: 2022-09-13
- 发明人: 谭进 , 王锡胜 , 李敏
- 申请人: 盐城矽润半导体有限公司
- 申请人地址: 江苏省盐城市滨海经济开发区工业园人民南路延伸段(滨海治润电子有限公司内)
- 专利权人: 盐城矽润半导体有限公司
- 当前专利权人: 盐城矽润半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省盐城市滨海经济开发区工业园人民南路延伸段(滨海治润电子有限公司内)
- 代理机构: 盐城博思维知识产权代理事务所
- 代理商 翁文彬
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677 ; H01L21/683 ; H01L21/02
摘要:
本发明公开了一种半导体上料清洁一体机,包括主机架,所述主机架的两端分别设置为上料端和下料端,所述主机架的内部上表面上固定设置有第一上料清洁机和第二上料清洁机,所述第一上料清洁机和第二上料清洁机的结构相同,本发明涉及半导体加工设备技术领域。通过清洁夹口对准上料端上码放好的半导体加工件进行工作,链接软管与外界的抽气泵是相连的,连通管通过下封腔将抽气的吸力从内适配孔中产生,随后,吸力将半导体加工件吸住,同时内部的内驱动电机启动,带动下从动轮进行转动,下从动轮带动转盘进行转动,转盘上的清洁块对半导体加工件的表面进行清洁。
公开/授权文献
- CN114188256A 一种半导体上料清洁一体机 公开/授权日:2022-03-15
IPC分类: