发明公开
- 专利标题： 包括叠加标记的电子装置、包括叠加标记的存储器装置及相关方法
-
申请号： CN202080058364.9申请日： 2020-08-10
-
公开(公告)号： CN114391179A公开(公告)日： 2022-04-22
- 发明人: R·科塔里 , H·N·贾殷 , J·D·霍普金斯 , 张晓松
- 申请人： 美光科技公司
- 申请人地址： 美国爱达荷州
- 专利权人： 美光科技公司
- 当前专利权人： 美光科技公司
- 当前专利权人地址： 美国爱达荷州
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 王龙
- 优先权： 16/546,759 20190821 US
- 国际申请： PCT/US2020/070389 2020.08.10
- 国际公布： WO2021/035235 EN 2021.02.25
- 进入国家日期： 2022-02-18
- 主分类号： H01L23/544
- IPC分类号： H01L23/544 ; H01L27/11524 ; H01L27/11556
摘要：
一种电子装置，其包括：至少一个高纵横比特征，其在基底材料堆叠中；叠加标记，其仅在所述基底材料堆叠的上部中或上；及额外材料堆叠，其邻近所述基底材料堆叠，所述额外材料堆叠包括所述至少一个高纵横比特征。公开额外电子装置及存储器装置，还公开在电子装置中形成高纵横比特征的方法。
IPC分类:
