设置有微结构的柔性压力传感器及其制造方法
摘要:
本申请提供了设置有微结构的柔性压力传感器及其制造方法。设置有微结构的柔性压力传感器传感器本体(1)与微结构(2),在传感器本体(1)所处的三维空间中,传感器本体(1)的受压方向垂直于传感器本体(1)的底面,传感器本体(1)与微结构(2)在传感器本体(1)的底面所在平面的正投影不重叠,且在受压方向上,微结构(2)的受压面的顶点高于或平齐于传感器本体(1)的受压面的顶点,使得传感器本体(1)受到压力时,微结构(2)能够分担压力。设置有微结构的柔性压力传感器的制造方法包括准备传感器,传感器为柔性压力传感器;准备微结构(2);将传感器与微结构(2)连接为整体。
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