发明公开
- 专利标题: 设置有微结构的柔性压力传感器及其制造方法
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申请号: CN202210053265.2申请日: 2022-01-18
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公开(公告)号: CN114414108A公开(公告)日: 2022-04-29
- 发明人: 冯雪 , 张瑞平 , 王鹏
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区清华园1号
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华园1号
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 张会华
- 主分类号: G01L1/18
- IPC分类号: G01L1/18 ; G01L1/14 ; G01L1/16 ; G01L9/06 ; G01L9/08 ; G01L9/12
摘要:
本申请提供了设置有微结构的柔性压力传感器及其制造方法。设置有微结构的柔性压力传感器传感器本体(1)与微结构(2),在传感器本体(1)所处的三维空间中,传感器本体(1)的受压方向垂直于传感器本体(1)的底面,传感器本体(1)与微结构(2)在传感器本体(1)的底面所在平面的正投影不重叠,且在受压方向上,微结构(2)的受压面的顶点高于或平齐于传感器本体(1)的受压面的顶点,使得传感器本体(1)受到压力时,微结构(2)能够分担压力。设置有微结构的柔性压力传感器的制造方法包括准备传感器,传感器为柔性压力传感器;准备微结构(2);将传感器与微结构(2)连接为整体。