一种高压单粒子加固LDMOS器件
摘要:
本发明提供一种高压单粒子加固LDMOS器件,包括P型衬底、深N型阱区、P型埋层、N型漂移区、P型阱区、源区P+注入、源区N+注入、栅氧化层、源区Ptop注入、漏极N+注入、多晶硅,本发明通过缩短常规器件原N+掺杂横向漏区的宽度和添加一个N‑掺杂,使pn结变成两个二极管,且两个正极连接,N‑N+也形成一个新的反向二极管从漂移区到漏区,从而减少雪崩击穿的可能性,对于传统的LDMOS器件,源的寄生p‑n‑p‑n(SCR)结构的正反馈和漏极的雪崩击穿会导致整个器件烧毁,结果表明,单粒子加固LDMOS的击穿电压从660V下降到569V,降低了13.7%,SEB阈值电压从197V上升到291V,提高了47.7%。在安全BV以下,随着Vth‑SEB的增加,LDMOS系统的安全性和可靠性可以得到极大的提高。
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