发明公开
- 专利标题: 一种超宽禁带非晶MgGaO真空紫外光伏探测器
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申请号: CN202210208272.5申请日: 2022-03-04
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公开(公告)号: CN114582994A公开(公告)日: 2022-06-03
- 发明人: 董美 , 林丽君 , 季旭 , 孔壹右 , 叶俊伟 , 马佳升 , 詹翔 , 陈杰鑫 , 李家蝉 , 黄家眉 , 周志雄 , 梁志华
- 申请人: 仲恺农业工程学院
- 申请人地址: 广东省广州市海珠区纺织路东沙街24号
- 专利权人: 仲恺农业工程学院
- 当前专利权人: 仲恺农业工程学院
- 当前专利权人地址: 广东省广州市海珠区纺织路东沙街24号
- 代理机构: 重庆莫斯专利代理事务所
- 代理商 周卫清
- 主分类号: H01L31/032
- IPC分类号: H01L31/032 ; H01L31/09 ; H01L31/20
摘要:
本发明涉及基本电气元件领域,具体涉及一种超宽禁带非晶MgGaO真空紫外光伏探测器,包括衬底、MgGa2O4薄膜层、低功函电极层和高功函电极层,所述MgGa2O4薄膜层附着在衬底上部,所述低功函电极层附着在所述MgGa2O4薄膜层的上部、所述高功函电极层附着在所述MgGa2O4薄膜层的上部,且位于所述低功函电极层的一侧。本发明的衬底可选择性大,MgGa2O4具有很好的稳定性及抗辐射能力,易于实现大面积、低成本、批量生产。
IPC分类: