- 专利标题: 一种高电流立体型纳米空气沟道电子管及电子器件
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申请号: CN202210247269.4申请日: 2022-03-14
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公开(公告)号: CN114613841B公开(公告)日: 2023-09-08
- 发明人: 李男男 , 罗毅
- 申请人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 申请人地址: 四川省绵阳市游仙区绵山路64号
- 专利权人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 当前专利权人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 当前专利权人地址: 四川省绵阳市游仙区绵山路64号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 张艺
- 主分类号: H01L29/06
- IPC分类号: H01L29/06 ; H01L29/10 ; H01L29/739 ; H01L21/331 ; H01L29/778 ; H01L21/335 ; B82Y30/00 ; B82Y40/00
摘要:
本发明公开了一种高电流立体型纳米空气沟道电子管,包括:半导体基底;位于半导体基底一侧表面的功能层;半导体基底与功能层之间存在二维电子气;位于功能层背向半导体基底一侧表面的顶电极;多个沿垂直方向从顶电极延伸至半导体基底的纳米空气沟道;多个纳米空气沟道形成纳米空气沟道阵列。通过设置多个垂直方向的纳米空气沟道形成纳米空气沟道阵列,可以有效增大二维电子气的有效发射面积,提高发射电流至毫安量级。通过新型纳米空气沟道阵列和电极结构与材料的设计,可以实现低电压大电流工作,同时大幅提高该类器件的截止频率至太赫兹量级。本发明还提供了一种电子器件,同样具有上述有益效果。
公开/授权文献
- CN114613841A 一种高电流立体型纳米空气沟道电子管及电子器件 公开/授权日:2022-06-10
IPC分类: