一种高电流立体型纳米空气沟道电子管及电子器件
摘要:
本发明公开了一种高电流立体型纳米空气沟道电子管,包括:半导体基底;位于半导体基底一侧表面的功能层;半导体基底与功能层之间存在二维电子气;位于功能层背向半导体基底一侧表面的顶电极;多个沿垂直方向从顶电极延伸至半导体基底的纳米空气沟道;多个纳米空气沟道形成纳米空气沟道阵列。通过设置多个垂直方向的纳米空气沟道形成纳米空气沟道阵列,可以有效增大二维电子气的有效发射面积,提高发射电流至毫安量级。通过新型纳米空气沟道阵列和电极结构与材料的设计,可以实现低电压大电流工作,同时大幅提高该类器件的截止频率至太赫兹量级。本发明还提供了一种电子器件,同样具有上述有益效果。
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