微流道散热结构和微电子芯片结构
Abstract:
本发明涉及一种微流道散热结构和微电子芯片结构。本发明的微流道散热结构包括:衬底;多个相互独立的散热通道,各散热通道均位于衬底内。通过设置在衬底内的多个相互独立的散热通道,多个散热通道的设置可以将热源温度控制在较低的水平,能够有效提升器件的散热能力,减少热量的堆积,且本发明中的微流道散热结构在帮助器件提高散热能力的同时,还可以降低微流道散热结构自身的进出口之间的压降,使散热时压降较大的问题得到改善,从而避免温度过高而使器件损毁的问题发生。
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