发明公开
- 专利标题: 一种多晶硅生产的控制方法、系统
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申请号: CN202011526351.8申请日: 2020-12-22
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公开(公告)号: CN114655958A公开(公告)日: 2022-06-24
- 发明人: 王文 , 范协诚 , 张兆东 , 冯留建 , 赵鹏 , 张霞飞 , 谢瑞 , 宋高杰
- 申请人: 新疆新特晶体硅高科技有限公司 , 新疆硅基新材料创新中心有限公司
- 申请人地址: 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市甘泉堡经济技术开发区(工业区)众欣街2249号研发楼七层;
- 专利权人: 新疆新特晶体硅高科技有限公司,新疆硅基新材料创新中心有限公司
- 当前专利权人: 新疆新特晶体硅高科技有限公司,新疆硅基新材料创新中心有限公司
- 当前专利权人地址: 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市甘泉堡经济技术开发区(工业区)众欣街2249号研发楼七层;
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 邓伯英; 苏赛军
- 主分类号: C01B33/035
- IPC分类号: C01B33/035 ; G05B19/418
摘要:
本发明公开一种多晶硅生产的控制方法,包括:对多晶硅生产设备进行优化控制,以获取优化后的设备参数;根据优化后的设备参数对所述多晶硅生产设备进行改进;对改进后的多晶硅生产设备的多晶硅生产过程进行优化控制,以获取目标多晶硅产品。相应的,还公开一种多晶硅生产的控制设备。该控制方法和设备可实现准确控制多晶硅生产的过程,提高产品质量。
公开/授权文献
- CN114655958B 一种多晶硅生产的控制方法、系统 公开/授权日:2024-04-26