一种多晶硅生产的控制方法、系统
摘要:
本发明公开一种多晶硅生产的控制方法,包括:对多晶硅生产设备进行优化控制,以获取优化后的设备参数;根据优化后的设备参数对所述多晶硅生产设备进行改进;对改进后的多晶硅生产设备的多晶硅生产过程进行优化控制,以获取目标多晶硅产品。相应的,还公开一种多晶硅生产的控制设备。该控制方法和设备可实现准确控制多晶硅生产的过程,提高产品质量。
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