一种多晶硅生产模拟的控制系统及方法

    公开(公告)号:CN114660998A

    公开(公告)日:2022-06-24

    申请号:CN202011529976.X

    申请日:2020-12-22

    IPC分类号: G05B19/418 C01B33/035

    摘要: 本发明公开一种多晶硅生产模拟的控制系统,包括3D仿真系统、试炉设备、以及大数据智能控制系统。3D仿真系统用于根据设备参数进行仿真模拟,并将得到的热场、流场输出给大数据智能控制系统。试炉设备用于根据设备参数及生产过程参数,进行生产并实时采集生产状态数据,将之输出给大数据智能控制系统。大数据智能控制系统用于根据热场、流场和生产状态数据,得到优化后的设备参数输出给3D仿真系统进行下一次的三维仿真模拟,得到优化后的生产过程参数及设备参数输出给试炉设备进行下一次的多晶硅生产。相应的,还公开一种多晶硅生产模拟的控制方法。该控制系统可提高多晶硅生产的仿真模拟的可靠性。

    还原炉控制方法、装置、电子设备及可读存储介质

    公开(公告)号:CN116774615A

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202310747055.8

    申请日:2023-06-21

    IPC分类号: G05B19/04 C01B33/035

    摘要: 本申请实施例提供的一种还原炉控制方法、装置、电子设备及可读存储介质。通过根据还原炉当前时刻的雾化检测值和预设雾化阈值,确定还原炉当前时刻的雾化状态;根据还原炉当前时刻的雾化状态,确定还原炉的目标雾化控制程序,目标雾化控制程序用于调整输入还原炉的氯硅烷流量、氢气流量和电流值。这样,根据还原炉当前时刻的雾化状态来调整输入还原炉的氯硅烷流量、氢气流量和电流值,相比在不知道还原炉当前的雾化状态,为了降低缺相的概率而降低雾化程度,进而一味地降低输入还原炉的氯硅烷流量、氢气流量和电流值,有了更为准确的调整依据,可以在保证还原炉转化多晶硅效率的情况下,减少雾化程度,从而达到降低还原炉缺相的概率。

    一种氯硅烷在线检测装置及方法

    公开(公告)号:CN114184709B

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202111582920.5

    申请日:2021-12-22

    摘要: 本发明公开一种氯硅烷在线检测装置以及使用该氯硅烷在线检测装置的检测氯硅烷中二氯二氢硅的方法,氯硅烷在线检测装置包括进料单元与检测单元,进料单元包括样品管道、第一管道、第一连通阀、第二连通阀,样品管道的输入端与氯硅烷的工艺管线连通,样品管道的输出端接入第一连通阀的第一接口,第一管道的两端分别接入第一连通阀的第二接口和第二连通阀的第二接口,检测单元包括第二管道、色谱检测阀、闪蒸箱,第二管道的输入端接入第二连通阀的第一接口,闪蒸箱设于第二管道上,色谱检测阀设于第二管道上并处于闪蒸箱的下游,用于对汽化后的氯硅烷样品进行检测。该氯硅烷在线检测装置能够实时在线检测氯硅烷样品。

    一种氯硅烷在线检测装置及方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114184709A

    公开(公告)日:2022-03-15

    申请号:CN202111582920.5

    申请日:2021-12-22

    摘要: 本发明公开一种氯硅烷在线检测装置以及使用该氯硅烷在线检测装置的检测氯硅烷中二氯二氢硅的方法,氯硅烷在线检测装置包括进料单元与检测单元,进料单元包括样品管道、第一管道、第一连通阀、第二连通阀,样品管道的输入端与氯硅烷的工艺管线连通,样品管道的输出端接入第一连通阀的第一接口,第一管道的两端分别接入第一连通阀的第二接口和第二连通阀的第二接口,检测单元包括第二管道、色谱检测阀、闪蒸箱,第二管道的输入端接入第二连通阀的第一接口,闪蒸箱设于第二管道上,色谱检测阀设于第二管道上并处于闪蒸箱的下游,用于对汽化后的氯硅烷样品进行检测。该氯硅烷在线检测装置能够实时在线检测氯硅烷样品。

    一种轨道半球阀和介质输送系统

    公开(公告)号:CN220396544U

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202321854944.6

    申请日:2023-07-13

    摘要: 本实用新型公开一种轨道半球阀和介质输送系统,一种轨道半球阀包括阀体、阀芯、阀杆和驱动组件。阀杆包括上阀杆和楔块,上阀杆沿竖直方向延伸,并贯穿于阀体的上部,楔块与上阀杆的下端连接,楔块开设有导向斜孔。阀芯容置于阀腔内,用于封堵/打开出料口,阀芯的上端与导向斜孔滑动连接,能够沿导向斜孔的延伸方向滑动。驱动组件与上阀杆连接,用于驱动上阀杆和楔块抬升/下降,并通过导向斜孔推动阀芯上端移动,进而使得阀芯脱离/封堵出料口。驱动组件还用于在阀芯脱离出料口时,驱动上阀杆绕自身轴线转动,以带动阀芯绕竖直轴线转动,从而打开出料口。本轨道半球阀能够减少使用过程中产生的磨损,进而减缓长期磨损造成的密封性下降。

    一种尾气开关阀
    8.
    实用新型

    公开(公告)号:CN220286489U

    公开(公告)日:2024-01-02

    申请号:CN202321524083.5

    申请日:2023-06-15

    摘要: 本申请公开了一种尾气开关阀,涉及尾气处理技术领域,所述尾气开关阀包括:主阀门,所述主阀门的侧壁上设置有进气口和出气口,所述进气口用于供清洁所述主阀门的气体流入,所述出气口用于供清洁所述主阀门的气体流出;进气口阀门,与所述进气口连通;出气口阀门,与所述出气口连通;其中,所述主阀门内设有转动腔,所述进气口和所述出气口均与所述转动腔连通;在所述主阀门处于开启状态时,所述进气口阀门和所述出气口阀门处于关闭状态,在所述主阀门处于关闭状态时,所述进气口阀门和所述出气口阀门处于开启状态。本申请的方案实现了利用清洁气体将介质从主阀门导出,解决了传统尾气开关阀由于物料冲刷磨损而导致的阀门异常的问题。

    一种切断阀及系统
    9.
    实用新型

    公开(公告)号:CN220037513U

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202321679968.2

    申请日:2023-06-29

    摘要: 本实用新型提供了一种切断阀及系统,涉及阀门技术领域。切断阀包括:阀壳,内部设有容置空间,阀壳的第一端开设有进液口,第二端开设有出液口,进液口和出液口均与容置空间连通;阀芯本体,第一端开设有第一安装腔,第二端开设有第二安装腔;转动组件,一端插设于第一安装腔内且与阀芯本体连接,另一端贯穿阀壳且与执行机构固定连接,转动组件与第一安装腔的内壁之间设置有第一密封件;支撑轴,第一端与阀壳固定连接,第二端插设于第二安装腔内且与阀芯本体可转动连接,支撑轴与第二安装腔的内壁之间设置有第二密封件。本方案解决了现有技术中用于多晶硅还原炉的切断阀内的各个转动位置容易因硅粉颗粒的进入而发生磨损,导致切换阀使用寿命较短的问题。