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公开(公告)号：CN114655958B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202011526351.8
申请日：2020-12-22
申请人： 新疆新特晶体硅高科技有限公司 , 新疆硅基新材料创新中心有限公司
IPC分类号： C01B33/035 , G05B19/418
摘要： 本发明公开一种多晶硅生产的控制方法，包括：对多晶硅生产设备进行优化控制，以获取优化后的设备参数；根据优化后的设备参数对所述多晶硅生产设备进行改进；对改进后的多晶硅生产设备的多晶硅生产过程进行优化控制，以获取目标多晶硅产品。相应的，还公开一种多晶硅生产的控制设备。该控制方法和设备可实现准确控制多晶硅生产的过程，提高产品质量。
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公开(公告)号：CN114655958A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202011526351.8
申请日：2020-12-22
申请人： 新疆新特晶体硅高科技有限公司 , 新疆硅基新材料创新中心有限公司
IPC分类号： C01B33/035 , G05B19/418
摘要： 本发明公开一种多晶硅生产的控制方法，包括：对多晶硅生产设备进行优化控制，以获取优化后的设备参数；根据优化后的设备参数对所述多晶硅生产设备进行改进；对改进后的多晶硅生产设备的多晶硅生产过程进行优化控制，以获取目标多晶硅产品。相应的，还公开一种多晶硅生产的控制设备。该控制方法和设备可实现准确控制多晶硅生产的过程，提高产品质量。
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公开(公告)号：CN114660998A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202011529976.X
申请日：2020-12-22
申请人： 新疆新特晶体硅高科技有限公司 , 新疆硅基新材料创新中心有限公司
IPC分类号： G05B19/418 , C01B33/035
摘要： 本发明公开一种多晶硅生产模拟的控制系统，包括3D仿真系统、试炉设备、以及大数据智能控制系统。3D仿真系统用于根据设备参数进行仿真模拟，并将得到的热场、流场输出给大数据智能控制系统。试炉设备用于根据设备参数及生产过程参数，进行生产并实时采集生产状态数据，将之输出给大数据智能控制系统。大数据智能控制系统用于根据热场、流场和生产状态数据，得到优化后的设备参数输出给3D仿真系统进行下一次的三维仿真模拟，得到优化后的生产过程参数及设备参数输出给试炉设备进行下一次的多晶硅生产。相应的，还公开一种多晶硅生产模拟的控制方法。该控制系统可提高多晶硅生产的仿真模拟的可靠性。
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公开(公告)号：CN113375058B
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202110661123.X
申请日：2021-06-15
申请人： 新疆硅基新材料创新中心有限公司 , 新特能源股份有限公司
IPC分类号： F17D1/04 , F17D3/01 , F17D5/00 , C01B33/035
摘要： 本申请公开了一种尾气排放结构和还原炉，尾气排放结构包括：多个尾气支管；每个尾气支管的第一端与汇合管连通，多个尾气支管的第一端沿汇合管的周向间隔设置；汇集管的第一端与汇合管连通；汇集管的第二端与尾气母管的一端连通。尾气排放结构可应用在还原炉中，尾气支管的第二端可以与还原炉的底部的排气孔连通，还原炉中的尾气通过排气孔进入尾气支管中，尾气支管中的气体进入汇合管中后在汇合管中可以进行平衡，使得汇合管中的气体的压力流量更均匀稳定，汇合管中均匀稳定的气体稳定地流入汇集管，经过汇集管后从尾气母管排出，使得尾气的排出更均匀稳定，使得还原炉内的压力、流场、温度场稳定，提高多晶硅的生产质量。
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公开(公告)号：CN113213484B
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202110661114.0
申请日：2021-06-15
申请人： 新疆硅基新材料创新中心有限公司 , 新特能源股份有限公司
IPC分类号： C01B33/035 , F27D17/00 , H01L21/67
摘要： 本申请公开了一种尾气排放结构和还原炉，尾气排放结构包括：连接体，连接体上设有环形孔，环形孔具有第一开口与第二开口；多个尾气支管的第一端与环形孔的第一开口连通；多个尾气支管的第二端与汇集管连通；尾气母管的一端与汇集管连通。将尾气排放结构应用于还原炉，连接体的第二开口与还原炉底部的排气孔连通，还原炉中的尾气通过排气孔进入环形孔，通过环形孔对尾气进行平衡，环形孔中的气体通过尾气支管进入汇集管，不同尾气支管中的气体流量可以在汇集管进行平衡，然后汇集管中的气体通过尾气母管排出，连接体的高换热面积和汇集管的流量平衡作用，降低了尾气支管内的结硅情况和硅渣清理频次，使得还原炉内的压力、流场、温度场稳定。
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公开(公告)号：CN115342645A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202110517842.4
申请日：2021-05-12
申请人： 新疆硅基新材料创新中心有限公司 , 新特能源股份有限公司
摘要： 本发明公开一种多晶硅还原尾气余热利用方法，包括：在第一尾气换热器中利用第一进料气的冷量对来自第一还原炉的第一还原尾气进行冷却处理，并使冷量已被第一尾气换热器利用后的第一进料气进入第二还原炉；在第二尾气换热器中利用第二进料气的冷量对来自第二还原炉的第二还原尾气进行冷却处理，并使冷量已被第二尾气换热器利用后的第二进料气进入第一还原炉。本发明还公开一种多晶硅还原尾气余热利用系统。本发明能够实现在对还原尾气余热进行回收利用，使还原炉在各个运行阶段都保持在相对较高的沉积速率，使各运行阶段的转化率始终维持在较高水平。
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公开(公告)号：CN113307271A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110661115.5
申请日：2021-06-15
申请人： 新疆硅基新材料创新中心有限公司 , 新特能源股份有限公司
IPC分类号： C01B33/035
摘要： 本申请公开了一种尾气排放结构和还原炉，尾气排放结构包括：多个尾气支管；每个尾气支管的第一端与环形管连通，多个尾气支管的第一端沿环形管的周向间隔设置；环形管与平衡箱连通；尾气母管的第一端与平衡箱连通。尾气支管与还原炉的底部的排气孔连通，还原炉中的气体通过排气孔进入尾气支管，尾气支管中的尾气气体进入环形管，不同尾气支管中的尾气可以在环形管进行平衡，环形管中的尾气进入平衡箱中平衡使得气体的压力更加均匀，然后平衡箱中的气体通过尾气母管排除。通过环形管与平衡箱对各尾气支管内气体流量的平衡，降低尾气支管内的结硅情况和硅渣清理频次，保持尾气排放均匀稳定，使得还原炉内的压力、流场、温度场更稳定。
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公开(公告)号：CN113375058A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110661123.X
申请日：2021-06-15
申请人： 新疆硅基新材料创新中心有限公司 , 新特能源股份有限公司
IPC分类号： F17D1/04 , F17D3/01 , F17D5/00 , C01B33/035
摘要： 本申请公开了一种尾气排放结构和还原炉，尾气排放结构包括：多个尾气支管；每个尾气支管的第一端与汇合管连通，多个尾气支管的第一端沿汇合管的周向间隔设置；汇集管的第一端与汇合管连通；汇集管的第二端与尾气母管的一端连通。尾气排放结构可应用在还原炉中，尾气支管的第二端可以与还原炉的底部的排气孔连通，还原炉中的尾气通过排气孔进入尾气支管中，尾气支管中的气体进入汇合管中后在汇合管中可以进行平衡，使得汇合管中的气体的压力流量更均匀稳定，汇合管中均匀稳定的气体稳定地流入汇集管，经过汇集管后从尾气母管排出，使得尾气的排出更均匀稳定，使得还原炉内的压力、流场、温度场稳定，提高多晶硅的生产质量。
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公开(公告)号：CN113213484A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110661114.0
申请日：2021-06-15
申请人： 新疆硅基新材料创新中心有限公司 , 新特能源股份有限公司
IPC分类号： C01B33/035 , F27D17/00 , H01L21/67
摘要： 本申请公开了一种尾气排放结构和还原炉，尾气排放结构包括：连接体，连接体上设有环形孔，环形孔具有第一开口与第二开口；多个尾气支管的第一端与环形孔的第一开口连通；多个尾气支管的第二端与汇集管连通；尾气母管的一端与汇集管连通。将尾气排放结构应用于还原炉，连接体的第二开口与还原炉底部的排气孔连通，还原炉中的尾气通过排气孔进入环形孔，通过环形孔对尾气进行平衡，环形孔中的气体通过尾气支管进入汇集管，不同尾气支管中的气体流量可以在汇集管进行平衡，然后汇集管中的气体通过尾气母管排出，连接体的高换热面积和汇集管的流量平衡作用，降低了尾气支管内的结硅情况和硅渣清理频次，使得还原炉内的压力、流场、温度场稳定。
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