一种多晶硅生产模拟的控制系统及方法
摘要:
本发明公开一种多晶硅生产模拟的控制系统,包括3D仿真系统、试炉设备、以及大数据智能控制系统。3D仿真系统用于根据设备参数进行仿真模拟,并将得到的热场、流场输出给大数据智能控制系统。试炉设备用于根据设备参数及生产过程参数,进行生产并实时采集生产状态数据,将之输出给大数据智能控制系统。大数据智能控制系统用于根据热场、流场和生产状态数据,得到优化后的设备参数输出给3D仿真系统进行下一次的三维仿真模拟,得到优化后的生产过程参数及设备参数输出给试炉设备进行下一次的多晶硅生产。相应的,还公开一种多晶硅生产模拟的控制方法。该控制系统可提高多晶硅生产的仿真模拟的可靠性。
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