发明公开
- 专利标题: 一种多晶硅生产模拟的控制系统及方法
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申请号: CN202011529976.X申请日: 2020-12-22
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公开(公告)号: CN114660998A公开(公告)日: 2022-06-24
- 发明人: 王文 , 范协诚 , 张兆东 , 冯留建 , 赵鹏 , 张霞飞 , 谢瑞 , 宋高杰
- 申请人: 新疆新特晶体硅高科技有限公司 , 新疆硅基新材料创新中心有限公司
- 申请人地址: 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市甘泉堡经济技术开发区(工业区)众欣街2249号研发楼七层;
- 专利权人: 新疆新特晶体硅高科技有限公司,新疆硅基新材料创新中心有限公司
- 当前专利权人: 新疆新特晶体硅高科技有限公司,新疆硅基新材料创新中心有限公司
- 当前专利权人地址: 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市甘泉堡经济技术开发区(工业区)众欣街2249号研发楼七层;
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 邓伯英; 苏赛军
- 主分类号: G05B19/418
- IPC分类号: G05B19/418 ; C01B33/035
摘要:
本发明公开一种多晶硅生产模拟的控制系统,包括3D仿真系统、试炉设备、以及大数据智能控制系统。3D仿真系统用于根据设备参数进行仿真模拟,并将得到的热场、流场输出给大数据智能控制系统。试炉设备用于根据设备参数及生产过程参数,进行生产并实时采集生产状态数据,将之输出给大数据智能控制系统。大数据智能控制系统用于根据热场、流场和生产状态数据,得到优化后的设备参数输出给3D仿真系统进行下一次的三维仿真模拟,得到优化后的生产过程参数及设备参数输出给试炉设备进行下一次的多晶硅生产。相应的,还公开一种多晶硅生产模拟的控制方法。该控制系统可提高多晶硅生产的仿真模拟的可靠性。