发明公开
- 专利标题: 一种一体化三维集成系统级封装结构及其封装方法
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申请号: CN202210285646.3申请日: 2022-03-23
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公开(公告)号: CN114664746A公开(公告)日: 2022-06-24
- 发明人: 尹学全 , 韩威 , 魏浩 , 梁栋 , 杨宗亮
- 申请人: 中国电子科技集团公司第五十四研究所
- 申请人地址: 河北省石家庄市桥西区中山西路589号微系统中心
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第五十四研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第五十四研究所
- 当前专利权人地址: 河北省石家庄市桥西区中山西路589号微系统中心
- 代理机构: 河北东尚律师事务所
- 代理商 王文庆
- 主分类号: H01L23/053
- IPC分类号: H01L23/053 ; H01L23/13 ; H01L23/10 ; H01L21/50 ; H01L21/52
摘要:
本发明提供了一种一体化三维集成系统级封装架构及其封装方法,属于系统级封装技术领域;其包括陶瓷基板、密闭围框、盖板以及BGA焊球,陶瓷基板分为上下两层,基板上面开粘接芯片的微腔,密闭围框焊接在下层陶瓷基板上面,盖板焊接在密闭围框上,陶瓷基板下面设置BGA焊盘,BGA焊球通过BGA焊盘焊接在陶瓷基板下面,上下两层陶瓷基板通过上层陶瓷基板焊接的BGA球进行互联焊接。本发明还提供集成架构的封装方法。本发明内部集成密度提升近一倍,对外互联接口及气密封装的体积占用率大大降低,同时具备结构简单、装配步骤少,是实现一体化三维集成系统级封装的有效方式。
IPC分类: