一种一体化三维集成系统级封装结构及其封装方法
摘要:
本发明提供了一种一体化三维集成系统级封装架构及其封装方法,属于系统级封装技术领域;其包括陶瓷基板、密闭围框、盖板以及BGA焊球,陶瓷基板分为上下两层,基板上面开粘接芯片的微腔,密闭围框焊接在下层陶瓷基板上面,盖板焊接在密闭围框上,陶瓷基板下面设置BGA焊盘,BGA焊球通过BGA焊盘焊接在陶瓷基板下面,上下两层陶瓷基板通过上层陶瓷基板焊接的BGA球进行互联焊接。本发明还提供集成架构的封装方法。本发明内部集成密度提升近一倍,对外互联接口及气密封装的体积占用率大大降低,同时具备结构简单、装配步骤少,是实现一体化三维集成系统级封装的有效方式。
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