- 专利标题: 液气双态Mini/Micro LED芯片巨量转移用晶膜及制作方法
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申请号: CN202210327336.3申请日: 2022-03-30
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公开(公告)号: CN114709163A公开(公告)日: 2022-07-05
- 发明人: 刘强 , 徐杰 , 俞建荣 , 赵甜甜 , 李晶 , 盛沙 , 王和标 , 马宁
- 申请人: 北京石油化工学院
- 申请人地址: 北京市大兴区黄村清源北路19号
- 专利权人: 北京石油化工学院
- 当前专利权人: 北京石油化工学院
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区黄村清源北路19号
- 代理机构: 北京凯特来知识产权代理有限公司
- 代理商 郑立明; 赵镇勇
- 主分类号: H01L21/683
- IPC分类号: H01L21/683 ; H01L33/00
摘要:
本发明公开了一种液气双态Mini/Micro LED芯片巨量转移用晶膜及制作方法,包括衬底、介质存储网格、液气双态介质、密封胶、弹力层和粘结层;借助液气双态介质易升温且沸点低和粘结层受热后粘性显著降低的特性,采用与液气双态介质吸收图谱相匹配的激光穿过衬底照射液气双态介质使之气化产生气泡,推动芯片转移至目标基板,实现芯片的巨量转移。与现有热释放和烧蚀释放相比,能够在友好环境温度和不产生污染物的条件下,实现晶膜的重复利用和芯片的高精度巨量转移。