发明公开
- 专利标题: 一种反应室及反应装置
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申请号: CN202111361303.2申请日: 2021-11-17
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公开(公告)号: CN114717536A公开(公告)日: 2022-07-08
- 发明人: 肖蕴章 , 徐鑫 , 黄帅帅 , 刘亮辉 , 刘佳明 , 陈炳安 , 钟国仿
- 申请人: 深圳市纳设智能装备有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明区凤凰街道凤凰社区观光路招商局光明科技园A6栋1B
- 专利权人: 深圳市纳设智能装备有限公司
- 当前专利权人: 深圳市纳设智能装备有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明区凤凰街道凤凰社区观光路招商局光明科技园A6栋1B
- 代理机构: 北京超凡宏宇专利代理事务所
- 代理商 贾耀斌
- 主分类号: C23C16/32
- IPC分类号: C23C16/32 ; C23C16/458
摘要:
本发明提供了一种反应室及反应装置,包括中空发热件、旋转台、防护板组件及分隔件,所述旋转台可转动的设于所述中空发热件的内腔中,所述旋转台用于承载晶圆,所述防护板组件设于所述旋转台的两侧,所述分隔件架设于所述防护板组件上,所述分隔件用于与所述防护板组件配合,在所述内腔中分隔出反应腔,所述反应腔将所述旋转台包围,且所述内腔的表面不暴露于所述反应腔中。通过反应腔将托盘包围,使其不暴露于结构复杂、成本高昂的中空发热件内表面。反应气体从反应腔中流过沉积,不会在中空发热件表面产生沉积。仅需更换结构简单、成本较低的前防护板、后防护板与分隔件即可,维护便利性好,且降低了反应室维护的成本。
公开/授权文献
- CN114717536B 一种反应室及反应装置 公开/授权日:2023-04-07
IPC分类: