发明公开
CN114730683A 带电粒子成像系统
审中-实审
- 专利标题： 带电粒子成像系统
-
申请号： CN202080079517.8申请日： 2020-11-03
-
公开(公告)号： CN114730683A公开(公告)日： 2022-07-08
- 发明人: M·菲恩克斯 , F·兰帕斯伯格 , S·拉尼奥
- 申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司
- 申请人地址： 德国海姆斯特滕
- 专利权人： ICT半导体集成电路测试有限公司
- 当前专利权人： ICT半导体集成电路测试有限公司
- 当前专利权人地址： 德国海姆斯特滕
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 侯颖媖; 张鑫
- 优先权： 16/688,985 20191119 US
- 国际申请： PCT/EP2020/080793 2020.11.03
- 国际公布： WO2021/099105 EN 2021.05.27
- 进入国家日期： 2022-05-16
- 主分类号： H01J37/02
- IPC分类号： H01J37/02
摘要：
一种次级带电粒子成像系统，包含：背向散射电子检测器模块，其中背向散射电子检测器模块可以环绕轴线而在第一角位置(5452)与第二角位置(5454)之间旋转。
