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    确定聚焦带电粒子束的束汇聚度的方法和带电粒子束系统
    1.
    发明公开
    确定聚焦带电粒子束的束汇聚度的方法和带电粒子束系统 审中-实审

    公开(公告)号：CN117981040A

    公开(公告)日：2024-05-03

    申请号：CN202280064053.2

    申请日：2022-08-29

    申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司

    发明人： D·埃伯格 ,  J·布鲁尔 ,  M·芬克斯

    IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

    摘要： 提供一种确定通过聚焦透镜(120)朝向带电粒子束系统(100)中的样本(10)聚焦的带电粒子束(11)的束汇聚度的方法。所述方法包括：(a)当样本布置在与带电粒子束的相应射束焦点相距一个或多个散焦距离处时，获取样本的一个或多个图像；(b)从一个或多个图像检取一个或多个射束横截面；(c)从一个或多个射束横截面确定一个或多个射束宽度；以及(d)基于一个或多个射束宽度和一个或多个散焦距离计算至少一个束汇聚度值。另外，提供一种用于对样本进行成像和/或检查的带电粒子束系统，所述带电粒子束系统经配置用于本文所述方法中的任一者。

    像差校正器及对准像差校正器的方法
    2.
    发明公开
    像差校正器及对准像差校正器的方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN117321725A

    公开(公告)日：2023-12-29

    申请号：CN202280036111.0

    申请日：2022-05-05

    申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司

    发明人： M·菲恩克斯 ,  F·兰帕斯伯格 ,  J·布罗伊尔 ,  T·凯门 ,  S·Y·帕拉卓特奥芬博格

    IPC分类号： H01J37/15

    摘要： 提供一种像差校正器(101)，具有：多个磁极(210,211)，包含第一磁极(210)和进一步的磁极(211)；环(240)，将该多个磁极彼此磁性连接，该环与至少该第一磁极具有恒定间距；多个磁场调制器(220,221)，包含第一磁场调制器(220)及进一步的磁场调制器(221)；及多个引导件(450)，包含第一引导件及进一步的引导件；其中第一磁场调制器包含软磁材料，其中第一磁场调制器安置于第一位置中，第一位置为以下中的一者：与将第一磁极与环分离的第一气隙(230)相邻，或位于内环表面(241)处，或沿着第一磁极的轴位于内环表面的径向外侧，且其中第一引导件将第一磁场调制器约束于沿着与第一磁极的轴基本上平行或重合的第一轴的位置。

    电极布置、用于电极布置的接触组件、带电粒子束装置和减小电极布置中的电场强度的方法
    3.
    发明授权
    电极布置、用于电极布置的接触组件、带电粒子束装置和减小电极布置中的电场强度的方法 有权

    公开(公告)号：CN114188201B

    公开(公告)日：2022-11-01

    申请号：CN202111020667.4

    申请日：2021-09-01

    申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司

    发明人： M·菲恩克斯 ,  F·兰帕斯伯格 ,  C·萨尔维森

    IPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

    摘要： 描述了一种用于作用在带电粒子束设备中的带电粒子束上的电极布置。所述电极布置包括：第一电极(110)，所述第一电极具有用于带电粒子束的第一开口(111)；第一间隔件元件(140)，所述第一间隔件元件定位在设于第一电极中的第一电极侧上的第一凹槽(112)中以用于将第一电极(110)相对于第二电极(120)对准，第一间隔件元件具有第一盲孔(141)；第一导电屏蔽件(150)，所述第一导电屏蔽件设于第一盲孔(141)中；以及接触组件(160)，所述接触组件从第一电极突出到第一盲孔(141)中以用于确保在第一电极(110)与第一导电屏蔽件(150)之间的电接触。另外，描述了一种用于这样的电极布置的接触组件(160)、一种具有这样的电极布置的带电粒子束装置以及一种减小电极布置中的电场强度的方法。

    一种用于带电粒子束装置的物镜
    6.
    发明授权
    一种用于带电粒子束装置的物镜 失效

    公开(公告)号：CN1222011C

    公开(公告)日：2005-10-05

    申请号：CN01805432.3

    申请日：2001-01-26

    申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司

    发明人： 帕维尔·亚达梅克

    IPC分类号： H01J37/10 ,  H01J37/14 ,  H01J37/26 ,  H01J29/66

    摘要： 本发明提供了一种用于带电粒子束装置的改进物镜。该物镜包括一个磁透镜，用于产生一个第一磁场将带电粒子束聚焦在样品上。而且，通过提供至少一个附加线圈配置，一个偏转装置被集成到磁透镜中，产生一个第二磁场用于使带电粒子束偏转。因此，第二磁场通过磁透镜的至少一个磁极条被控制，本发明也提供了用于带电粒子束装置的改进的圆柱腔，它包括改进的物镜。

    确定带电粒子束的像差的方法，以及带电粒子束系统
    8.
    发明公开
    确定带电粒子束的像差的方法，以及带电粒子束系统 审中-实审

    公开(公告)号：CN118043931A

    公开(公告)日：2024-05-14

    申请号：CN202280066480.4

    申请日：2022-08-29

    申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司

    发明人： D·埃伯格 ,  J·布鲁尔 ,  M·芬克斯

    IPC分类号： H01J37/153 ,  H01J37/28

    摘要： 描述了一种确定带电粒子束系统中由聚焦透镜(120)朝向样本(10)聚焦的带电粒子束(11)的像差的方法。方法包括：(a)以一个或多个散焦设置拍摄样本的一个或多个图像以提供一个或多个拍摄图像(h1…N)；(b)基于射束像差系数集合(iC)和样本的聚焦图像，对以一个或多个散焦设置拍摄的样本的一个或多个图像进行仿真，以提供一个或多个仿真图像；(c)将一个或多个拍摄图像与一个或多个仿真图像进行比较，以确定两者之间的差异的大小(Ri)；以及(d)变化射束像差系数集合(iC)以提供更新的射束像差系数集合(i+1C)，并在迭代过程中使用更新的射束像差系数集合(i+1C)重复(b)和(c)，以最小化所述大小(Ri)。或者，在(b)中，可以仿真一个或多个射束横截面，并且在(c)中，可以将仿真射束横截面与从一个或多个拍摄图像检取的一个或多个检取射束横截面进行比较，以确定两者之间的差异的大小(Ri)。进一步地，提供了用于对样本进行成像和/或检验的、被配置为用于任何这样的方法的带电粒子束系统。

    磁多极器件、带电粒子束设备和影响沿光轴传播的带电粒子束的方法
    9.
    发明公开
    磁多极器件、带电粒子束设备和影响沿光轴传播的带电粒子束的方法 审中-公开

    公开(公告)号：CN117672786A

    公开(公告)日：2024-03-08

    申请号：CN202311136127.1

    申请日：2023-09-04

    申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司

    发明人： B·库克

    IPC分类号： H01J37/147 ,  H01J37/28

    摘要： 提供了一种用于影响沿光轴传播的带电粒子束的磁多极器件。所述磁多极器件包括：第一磁偏转器，用于用多个第一鞍形线圈使所述带电粒子束在x方向上偏转；以及第二磁偏转器，用于用多个第二鞍形线圈使所述带电粒子束在垂直于x方向的y方向上偏转。所述第一鞍形线圈和所述第二鞍形线圈以12极磁校正器结构围绕所述光轴布置，其中12个极以均匀间隔的角间隔被提供。所述12极磁校正器结构被配置为将磁12极校正器的束校正场施加在所述带电粒子束上。还提供了一种具有磁多极器件的带电粒子束设备和一种用如本文所述的磁多极器件影响沿光轴传播的带电粒子束的方法。