- 专利标题： 用于制造用于超声传感器的膜片的方法和用于超声换能器的膜片
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申请号： CN202080086036.X申请日： 2020-11-18
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公开(公告)号： CN114786826A公开(公告)日： 2022-07-22
- 发明人: T·利贝尔特 , S·伯蒂歇尔 , M·容克尔 , E-M·诺伊格鲍尔
- 申请人： 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址： 德国斯图加特
- 专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址： 德国斯图加特
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 郭付昌
- 优先权： 102019219391.9 20191211 DE
- 国际申请： PCT/EP2020/082457 2020.11.18
- 国际公布： WO2021/115740 DE 2021.06.17
- 进入国家日期： 2022-06-10
- 主分类号： B05D7/00
- IPC分类号： B05D7/00 ; G01S15/931 ; C23C22/34 ; C23C22/80 ; C23C22/36 ; G10K9/00 ; C23G1/12
摘要：
本发明涉及一种用于制造用于超声传感器的膜片(101a)的方法。在这里，首先提供具有由金属材料制成的膜片体(100)。然后对膜片体(100)的外表面区域(106)脱脂。接下来浸蚀膜片体(100)的外表面区域(106)。此外，为了预激活随后施加的第二钝化层(110)，将第一钝化层(105)作为第一层沉积到外表面区域(106)上。
公开/授权文献
- CN114786826B 用于制造用于超声传感器的膜片的方法和用于超声换能器的膜片 公开/授权日：2024-05-14
