公开(公告)号：CN114786826B

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202080086036.X

申请日：2020-11-18

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： T·利贝尔特 ,  S·伯蒂歇尔 ,  M·容克尔 ,  E-M·诺伊格鲍尔

IPC分类号： B05D7/00 ,  G01S15/931 ,  C23C22/34 ,  C23C22/80 ,  C23C22/36 ,  G10K9/00 ,  C23G1/12

摘要： 本发明涉及一种用于制造用于超声传感器的膜片(101a)的方法。在这里，首先提供具有由金属材料制成的膜片体(100)。然后对膜片体(100)的外表面区域(106)脱脂。接下来浸蚀膜片体(100)的外表面区域(106)。此外，为了预激活随后施加的第二钝化层(110)，将第一钝化层(105)作为第一层沉积到外表面区域(106)上。

公开(公告)号：CN114786826A

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202080086036.X

申请日：2020-11-18

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： T·利贝尔特 ,  S·伯蒂歇尔 ,  M·容克尔 ,  E-M·诺伊格鲍尔

IPC分类号： B05D7/00 ,  G01S15/931 ,  C23C22/34 ,  C23C22/80 ,  C23C22/36 ,  G10K9/00 ,  C23G1/12

摘要： 本发明涉及一种用于制造用于超声传感器的膜片(101a)的方法。在这里，首先提供具有由金属材料制成的膜片体(100)。然后对膜片体(100)的外表面区域(106)脱脂。接下来浸蚀膜片体(100)的外表面区域(106)。此外，为了预激活随后施加的第二钝化层(110)，将第一钝化层(105)作为第一层沉积到外表面区域(106)上。