本发明公开了一种用于晶圆AOI检测的紫外‑可见显微物镜光学系统，沿其光轴方向，从物方到像方依次包括第一透镜组、第二透镜组以及第三透镜组；第一透镜组包含具有正光焦度的第一透镜、具有正光焦度的第二透镜和具有正光焦度的第三透镜，第二透镜组包含具有正光焦度的第四透镜、具有正光焦度的第五透镜、具有负光焦度的第六透镜、具有正光焦度的第七透镜、具有负光焦度的第八透镜、具有正光焦度的第九透镜以及具有负光焦度的第十透镜，第三透镜组包含具有正光焦度的第十一透镜、具有正光焦度的第十二透镜、具有负光焦度的第十三透镜、具有负光焦度的第十四透镜以及具有正光焦度的第十五透镜。本发明具备了大视场、大数值孔径的特性。