发明公开

DRAM及其制造方法
摘要:
本申请涉及半导体制造领域,具体涉及一种DRAM及其制造方法。包括半导体衬底;所述半导体衬底包括本体和突起结构;所述本体具有有源区;所述突起结构形成在所述有源区上,且构成为导电体;存储节点接触部,形成在所述突起结构上;着陆焊盘,形成在所述存储节点接触部的上方,且所述着陆焊盘的底部与所述存储节点接触部电连接。本申请实施例通过设置突起结构,使得突起结构和存储节点接触部之间的电连接更加的紧密,避免两者无法连接或者部分连接导致的接触不良。
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