发明公开
CN114883327A DRAM及其制造方法
审中-实审
- 专利标题: DRAM及其制造方法
-
申请号: CN202110161345.5申请日: 2021-02-05
-
公开(公告)号: CN114883327A公开(公告)日: 2022-08-09
- 发明人: 崔基雄 , 刘金彪 , 杨涛 , 贺晓彬 , 李俊峰 , 王文武
- 申请人: 中国科学院微电子研究所 , 真芯(北京)半导体有限责任公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号;
- 专利权人: 中国科学院微电子研究所,真芯(北京)半导体有限责任公司
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所,真芯(北京)半导体有限责任公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号;
- 代理机构: 北京辰权知识产权代理有限公司
- 代理商 金铭
- 主分类号: H01L27/108
- IPC分类号: H01L27/108 ; H01L21/8242
摘要:
本申请涉及半导体制造领域,具体涉及一种DRAM及其制造方法。包括半导体衬底;所述半导体衬底包括本体和突起结构;所述本体具有有源区;所述突起结构形成在所述有源区上,且构成为导电体;存储节点接触部,形成在所述突起结构上;着陆焊盘,形成在所述存储节点接触部的上方,且所述着陆焊盘的底部与所述存储节点接触部电连接。本申请实施例通过设置突起结构,使得突起结构和存储节点接触部之间的电连接更加的紧密,避免两者无法连接或者部分连接导致的接触不良。
IPC分类: