一种增强型氮化镓基晶体管及其制备方法
摘要:
一种增强型氮化镓基晶体管,自下而上包括衬底、复合缓冲层、沟道层和势垒层,在势垒层上设置有P型氮化物帽层、钝化层、源电极、漏电极和栅电极,P型氮化物帽层在侧面和顶面均被栅电极包围,钝化层布设于栅电极与源电极之间以及栅电极与漏电极之间;栅电极与势垒层形成肖特基接触,源电极和漏电极均与势垒层形成欧姆接触;沟道层与势垒层之间形成异质结,且极化效应在异质结界面的沟道层一侧形成二维电子气沟道。该P型氮化物帽层耗尽了沟道中的部分二维电子气,提高了器件的阈值电压,实现增强型器件的目的,P型氮化物帽层周围的栅电极解决了常规P型氮化物增强型器件栅控能力弱、导通电阻大等问题,且减小了栅长,提高了频率特性。
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