- 专利标题: 基于分布式的双扇出型异构集成三维封装结构及工艺
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申请号: CN202210846548.2申请日: 2022-07-19
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公开(公告)号: CN114927500A公开(公告)日: 2022-08-19
- 发明人: 刘胜 , 田志强 , 王诗兆 , 张贺辉 , 薛良豪 , 何涛 , 东芳
- 申请人: 武汉大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市武昌区八一路299号
- 专利权人: 武汉大学
- 当前专利权人: 武汉大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市武昌区八一路299号
- 代理机构: 武汉科皓知识产权代理事务所
- 代理商 齐晨涵
- 主分类号: H01L23/538
- IPC分类号: H01L23/538 ; H01L23/49 ; H01L25/18 ; H01L21/768 ; H01L21/50
摘要:
本发明公开了一种基于分布式的双扇出型异构集成三维封装结构及工艺。该结构及工艺主要包括:第一芯粒、第二芯粒制作金属凸块后贴装于第一临时载板上并进行模塑料填充;把芯粒倒装后进行模塑料通孔刻蚀、TMV填充并制作第一再布线层形成第一封装体;将第一封装体与第三芯粒贴装在第二临时载板上;之后进行模塑料填充、减薄;进行二次塑封层打孔、TMV填充、植球、存储芯粒的堆叠并制作第二再布线层形成第二封装体;最后植球实现三维堆叠。该结构基于分布式的双扇出型异构集成技术实现了不同种类异质芯片的三维堆叠,有效提高了封装集成度,同时有效减少了互连距离,在电性能及信号传输方面具有很大的优势。
公开/授权文献
- CN114927500B 基于分布式的双扇出型异构集成三维封装结构及工艺 公开/授权日:2022-10-04
IPC分类: