本申请涉及半导体加工技术领域，尤其是涉及一种湿氧泡瓶，及湿氧器，湿氧器安装有该湿氧泡瓶，包括瓶体、进气管及测温管，瓶体具有瓶腔，瓶体设置有连通瓶腔的进气口、出气口、进液口及测温口，进气管从进气口伸入瓶腔，测温管安装于测温口，且测温管伸入瓶腔，进气口和出气口位于瓶体的上部，进液口及测温口设于出气口下方，本申请方案瓶体分别设置进气口、出气口、进液口及测温口，使进气、出气、进液及测温四个功能在空间位置上独立，互不影响，提高氧气湿化效率；将进气管设于测温口和进液口的中间，在进液过程中，自进液口对应区域向外温度逐渐变化，测温管位于进气管远离进液一侧，减小进液对测温的影响，便于得出进气管周侧温度。