- 专利标题: 一种气相沉积空心阴极复合电极涡旋气体输入装置
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申请号: CN202210510437.4申请日: 2022-05-11
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公开(公告)号: CN115020177B公开(公告)日: 2023-04-28
- 发明人: 李成明 , 夏天 , 杨志亮 , 何健 , 张建军 , 陈良贤 , 魏俊俊 , 刘金龙
- 申请人: 北京科技大学
- 申请人地址: 北京市海淀区学院路30号
- 专利权人: 北京科技大学
- 当前专利权人: 北京科技大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区学院路30号
- 代理机构: 北京市广友专利事务所有限责任公司
- 代理商 张仲波
- 主分类号: H01J37/32
- IPC分类号: H01J37/32 ; C23C16/50
摘要:
本发明属于半导体材料制备领域,具体涉及一种气相沉积空心阴极复合电极涡旋气体输入装置。该装置包括一块用于气相沉积的电极,所述电极两侧分别连接电源和固定管道,所述电源正极接地。电极表面均匀分布有贯穿圆孔,电极内部分布有缓冲槽、分配环、连通孔和进气孔。所述进气孔均布于贯穿圆孔侧壁并与分配环连接,所述分配环分布于贯穿圆孔外围并与缓冲槽连通。该装置通过布置贯穿圆孔、进气的缓冲槽和调控进气孔方向,提高进气的均匀性并产生稳恒的涡旋气体流场,产生更为稳定、均匀的空心阴极放电,确保等离子体均匀性并进一步提高气体离化率,有利于实现均匀、高效的沉积大面积金刚石散热板。
公开/授权文献
- CN115020177A 一种气相沉积空心阴极复合电极涡旋气体输入装置 公开/授权日:2022-09-06