基于多级斐索干涉腔的宽波段波长计
摘要:
本发明公开了一种基于多级斐索干涉腔的宽波段波长计,包括沿主光路依次共轴放置的光纤端口、凹面反射镜,沿第一子光路依次共轴放置第一反射镜、Fizeau单级腔、第一柱面镜和第一线阵探测器,以及沿第二子光路依次共轴放置第二反射镜、Fizeau多级腔、第二柱面镜和第二线阵探测器。由光纤端口发出的光经过凹面反射镜后变成平行光,再经过第一反射镜与第二反射镜后分别入射至Fizeau单级腔与Fizeau多级腔中干涉,由干涉腔后底面出射后分别经第一柱面镜与第二柱面镜汇聚能量后成像在第一线阵探测器与第二线阵探测器形成干涉条纹。本发明相比传统波长测量系统,结构更加简单稳定;同时可以通过分区镀膜实现宽波段波长高精度测量。
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