AlInGaN基单pn结多色探测器及信号检测方法
摘要:
本发明涉及半导体光电子技术领域,具体涉及一种AlInGaN基单pn结多色探测器及信号检测方法。该探测器自下向上依次包括:n型层、层叠结构和p型层;其中,所述层叠结构包括交替层叠的吸收层和隔离层,吸收层的数量为多个;各吸收层彼此之间禁带宽度不同,所述隔离层的禁带宽度大于所有吸收层的禁带宽度。该探测器结构在光照条件下的J‑V特性曲线具有明显台阶或拐点,使单pn结构实现多色选择性探测或同步探测成为可能。通过对该探测器测得的J‑V特性曲线进行数学处理,从中提取入射光的各波段信息,能够有效实现紫外‑红外范围内的多色选择性探测或同步探测。(56)对比文件CN 110444617 A,2019.11.12CN 114256394 A,2022.03.29TW 201724376 A,2017.07.01US 2002005524 A1,2002.01.17US 2004178421 A1,2004.09.16US 2006118722 A1,2006.06.08US 2007158638 A1,2007.07.12
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