本发明公开了一种晶圆面型分类方法及系统。该方法包括：以晶圆的圆心为中心，分别在中心的0°、45°、90°、135°方向上，通过距离传感器对晶圆的表面进行扫描，以得到第一扫描曲线、第二扫描曲线、第三扫描曲线、第四扫描曲线；使四条扫描曲线分别与具有预设长度的线段的两端相交，计算第一扫描曲线的顶点与线段之间的第一垂直距离、第二扫描曲线的顶点与线段之间的第二垂直距离、第三扫描曲线的顶点与线段之间的第三垂直距离、第四扫描曲线的顶点与线段之间的第四垂直距离；根据第一垂直距离、第二垂直距离、第三垂直距离、第四垂直距离，确定晶圆的面型种类。本发明能够有效的确定晶圆面型，有助于提高晶圆加工质量。