-
公开(公告)号：CN115060222B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210953435.2
申请日：2022-08-10
申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种晶圆面型分类方法及系统。该方法包括：以晶圆的圆心为中心，分别在中心的0°、45°、90°、135°方向上，通过距离传感器对晶圆的表面进行扫描，以得到第一扫描曲线、第二扫描曲线、第三扫描曲线、第四扫描曲线；使四条扫描曲线分别与具有预设长度的线段的两端相交，计算第一扫描曲线的顶点与线段之间的第一垂直距离、第二扫描曲线的顶点与线段之间的第二垂直距离、第三扫描曲线的顶点与线段之间的第三垂直距离、第四扫描曲线的顶点与线段之间的第四垂直距离；根据第一垂直距离、第二垂直距离、第三垂直距离、第四垂直距离，确定晶圆的面型种类。本发明能够有效的确定晶圆面型，有助于提高晶圆加工质量。
-
公开(公告)号：CN115060222A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210953435.2
申请日：2022-08-10
申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种晶圆面型分类方法及系统。该方法包括：以晶圆的圆心为中心，分别在中心的0°、45°、90°、135°方向上，通过距离传感器对晶圆的表面进行扫描，以得到第一扫描曲线、第二扫描曲线、第三扫描曲线、第四扫描曲线；使四条扫描曲线分别与具有预设长度的线段的两端相交，计算第一扫描曲线的顶点与线段之间的第一垂直距离、第二扫描曲线的顶点与线段之间的第二垂直距离、第三扫描曲线的顶点与线段之间的第三垂直距离、第四扫描曲线的顶点与线段之间的第四垂直距离；根据第一垂直距离、第二垂直距离、第三垂直距离、第四垂直距离，确定晶圆的面型种类。本发明能够有效的确定晶圆面型，有助于提高晶圆加工质量。
-
公开(公告)号：CN118380362A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410815239.8
申请日：2024-06-24
申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司 , 杭州昂坤半导体设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种兼容非标尺寸的晶圆寻边方法、系统及装置，该方法包括：控制目标晶圆上升以脱离晶圆支撑件，使目标晶圆上升至激光位移传感器识别范围内的居中位置，控制激光位移传感器移动至目标晶圆的边缘位置；控制目标晶圆旋转，通过激光位移传感器对目标晶圆进行数据采集，输出测量数据；对测量数据进行滤波处理，去除无效数据，保留晶圆边缘数据；对晶圆边缘数据进行补偿值计算，确定补偿值；重复对目标晶圆进行数据采集多次以输出采样数据，根据采样数据确定目标晶圆的平边位置，以实现目标晶圆的寻边。本发明解决了现有技术中非标尺寸的晶圆需要手动放片后人工寻边，操作困难效率较低，并且容易损坏晶圆的问题。
-
公开(公告)号：CN115876148A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202310069671.2
申请日：2023-02-07
申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种晶圆平面度测量平台运行误差补偿方法及系统，涉及半导体测试技术领域，该方法包括：将目标晶圆置于测量平台之上，对目标晶圆进行扫描，获取第一X向数据集与第一Y向数据集，以及第二X向数据集与第二Y向数据集；对第一X向数据集、第二X向数据集进行拟合，得到第一X向最佳二乘平面与第二X向最佳二乘平面，计算第一X向一维向量与第二X向一维向量，以得到X向跳动估计值；以相同方式得到Y向跳动估计值；根据所述X向跳动估计值与所述Y向跳动估计值。计算各个扫描点的综合跳动数据；根据综合跳动数据，得到运用于晶圆平面度测量的补偿数据。本发明旨在解决现有技术中对晶圆平面度测量进行补偿不够精准的技术问题。
-
公开(公告)号：CN115876148B
公开(公告)日：2023-05-19
申请号：CN202310069671.2
申请日：2023-02-07
申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种晶圆平面度测量平台运行误差补偿方法及系统，涉及半导体测试技术领域，该方法包括：将目标晶圆置于测量平台之上，对目标晶圆进行扫描，获取第一X向数据集与第一Y向数据集，以及第二X向数据集与第二Y向数据集；对第一X向数据集、第二X向数据集进行拟合，得到第一X向最佳二乘平面与第二X向最佳二乘平面，计算第一X向一维向量与第二X向一维向量，以得到X向跳动估计值；以相同方式得到Y向跳动估计值；根据所述X向跳动估计值与所述Y向跳动估计值。计算各个扫描点的综合跳动数据；根据综合跳动数据，得到运用于晶圆平面度测量的补偿数据。本发明旨在解决现有技术中对晶圆平面度测量进行补偿不够精准的技术问题。
-
公开(公告)号：CN117664022A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311484870.6
申请日：2023-11-09
申请人： 昂坤视觉(北京)科技有限公司
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明公开了一种晶圆形貌测量方法、装置、可读存储介质及电子设备，应用于晶圆形貌测量系统当中，该系统包括用于放置晶圆的测量运动平台、以及架设于测量运动平台附近的寻边器、形貌测量探头、定位相机，该方法包括：利用寻边器对晶圆进行粗定位寻找，以将晶圆放入测量运动平台上；控制测量运动平台对晶圆进行移动，以使晶圆的圆心移动到定位相机的中心，并采集用于定位的模板图像；计算出各条扫描线的运动点和采点在测量运动平台坐标系中的坐标，控制测量运动平台根据扫描轨迹和采样控制参数对晶圆采样得到各条扫描线上的面型数据，并根据面型数据确定晶圆的形貌数据。本发明解决了现有技术中在进行晶圆形貌测量时准确性低的问题。
-
-
-
-
-
搜索结果
6 条记录 (耗时 0.029 秒)