本发明涉及几何误差标定技术领域，尤其涉及一种面向并联机构的几何误差标定方法、系统和电子设备，方法包括：将牛顿法与谱修正迭代法嵌套使用，谱修正迭代法用于求解下降方向，而牛顿法则针对下降方向给出相应的搜索步长，逐步搜索几何误差，引入阻尼系数将根据谱修正迭代法得到的第一公式中的偏置项进行修正，保证雅克比矩阵无病态现象产生的前提下使阻尼系数最小，提高了计算效率，且能保证计算精度，而且根据修正后的电机驱动量对所述并联机构进行驱动，能够实现并联机构的高精度运动。