异质结横向双扩散场效应晶体管、制作方法、芯片及电路
摘要:
本发明提供一种异质结横向双扩散场效应晶体管、制作方法、芯片及电路,涉及半导体技术领域。晶体管包括:衬底;氮化镓缓冲层,形成于衬底上;并排形成在氮化镓缓冲层上的源区掺杂区、氮化镓体区、氮化镓漂移区和漏区掺杂区;铝镓氮阻挡层,形成于部分氮化镓漂移区上;栅氧介质层,形成于氮化镓体区、铝镓氮阻挡层和部分未被铝镓氮阻挡层覆盖的氮化镓漂移区上;源极金属电极,形成于源区掺杂区上;漏极金属电极,形成于漏区掺杂区上;栅极金属电极,形成于部分栅氧介质层上。通过本发明提供的晶体管能够提高晶体管的击穿电压,提升电子迁移率,保证器件的速度,减少复杂的场板结构,降低制作难度,减少生产成本。
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