发明授权
- 专利标题: LDMOS器件、制备方法及芯片
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申请号: CN202210875508.0申请日: 2022-07-25
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公开(公告)号: CN115084235B公开(公告)日: 2023-01-17
- 发明人: 赵东艳 , 王于波 , 郁文 , 陈燕宁 , 刘芳 , 付振 , 余山 , 吴波 , 王帅鹏 , 刘倩倩
- 申请人: 北京芯可鉴科技有限公司 , 北京智芯微电子科技有限公司
- 申请人地址: 北京市昌平区双营西路79号院中科云谷园11号楼一层;
- 专利权人: 北京芯可鉴科技有限公司,北京智芯微电子科技有限公司
- 当前专利权人: 北京芯可鉴科技有限公司,北京智芯微电子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区双营西路79号院中科云谷园11号楼一层;
- 代理机构: 北京润平知识产权代理有限公司
- 代理商 李红
- 主分类号: H01L29/06
- IPC分类号: H01L29/06 ; H01L29/78 ; H01L21/336 ; H01L27/088
摘要:
本发明提供一种LDMOS器件、制备方法及芯片。该器件包括:半导体衬底、栅极结构、源极区、漏极区、体区以及漂移区,栅极结构包括二氧化硅层、高K金属氧化物层和金属电极层,二氧化硅层形成在半导体衬底的上方,高K金属氧化物层形成在二氧化硅层上方,金属电极层形成在高K金属氧化物层上方;高K金属氧化物层为阶梯状结构,且漂移区上方的高K金属氧化物层的厚度大于体区上方的高K金属氧化物层的厚度。该器件去掉漏极结构与漂移区之间的隔离结构,缩短导电路径,降低导通电阻,缩小器件尺寸,节约芯片面积;二氧化硅层连接衬底,减少界面态;采用高K金属氧化物层提升器件的击穿电压,弥补去掉隔离结构后栅极结构的击穿电压会降低的不足。
公开/授权文献
- CN115084235A LDMOS器件、制备方法及芯片 公开/授权日:2022-09-20
IPC分类: