LDMOS器件、制备方法及芯片
摘要:
本发明提供一种LDMOS器件、制备方法及芯片。该器件包括:半导体衬底、栅极结构、源极区、漏极区、体区以及漂移区,栅极结构包括二氧化硅层、高K金属氧化物层和金属电极层,二氧化硅层形成在半导体衬底的上方,高K金属氧化物层形成在二氧化硅层上方,金属电极层形成在高K金属氧化物层上方;高K金属氧化物层为阶梯状结构,且漂移区上方的高K金属氧化物层的厚度大于体区上方的高K金属氧化物层的厚度。该器件去掉漏极结构与漂移区之间的隔离结构,缩短导电路径,降低导通电阻,缩小器件尺寸,节约芯片面积;二氧化硅层连接衬底,减少界面态;采用高K金属氧化物层提升器件的击穿电压,弥补去掉隔离结构后栅极结构的击穿电压会降低的不足。
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