发明授权
- 专利标题： 具有多个角度可加压区的抛光承载头
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申请号： CN202180014973.9申请日： 2021-06-25
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公开(公告)号： CN115135448B公开(公告)日： 2024-07-09
- 发明人: S·M·苏尼卡 , J·古鲁萨米 , A·J·纳耿加斯特 , V·佳尔布特
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 汪骏飞; 侯颖媖
- 国际申请： PCT/US2021/039265 2021.06.25
- 国际公布： WO2022/005919 EN 2022.01.06
- 进入国家日期： 2022-08-16
- 主分类号： B24B37/30
- IPC分类号： B24B37/30 ; B24B37/005 ; H01L21/67
摘要：
一种用于研磨系统的承载头包括外壳、柔性膜、第一多个压力供应管线、第二多个压力供应管线及阀组件。柔性膜限定多个可独立加压腔室。阀组件具有多个阀，其中多个阀中的每一相应阀耦接至来自多个可独立加压腔室的相应压力腔室。每一相应阀经配置以选择性地将相应压力腔室耦接至来自一对压力供应管线的一个压力供应管线，该对压力供应管线包括来自第一多个压力供应管线的压力供应管线及来自第二多个压力供应管线的压力供应管线。
公开/授权文献
- CN115135448A 具有多个角度可加压区的抛光承载头 公开/授权日：2022-09-30
