一种用于多晶铸锭炉的气体液体配合冷却装置及方法
摘要:
本发明属于多晶硅加工技术领域,具体为一种用于多晶铸锭炉的气体液体配合冷却装置及方法,包括炉体,所述炉体的内侧设置有保温底板,所述保温底板的上侧安装有热交换台,所述热交换台的上方设置有坩埚,所述保温底板的上方设置有卡在坩埚及热交换台外侧的隔热笼,所述隔热笼的外侧上方及保温底板的下侧均连接有贯穿炉体的承重拉杆,所述隔热笼的外侧设置有支撑板,所述支撑板的下侧安装有环形气管,所述环形气管的一端连接有贯穿炉体的进气管,本装置在初始降温时,环形气管喷出的气流只能吹到热交换台,对热交换台进行降温,当隔热笼的高度升高时,坩埚露出来后,气流也可以吹到坩埚,进而对坩埚进行降温。
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