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公开(公告)号：CN114959890A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210693892.2
申请日：2022-06-19
申请人： 扬州晶樱光电科技有限公司
摘要： 本发明属于多晶硅加工技术领域，具体为一种用于硅锭的多晶铸锭炉的热交换系统及其使用方法，包括炉体，所述炉体的内腔底部安装有底板以及驱动底板上下移动的升降装置，所述底板的上侧安装有隔热板，所述隔热板的上方安装有支撑架，所述支撑架的上方安装有坩埚，所述坩埚的外侧套设有隔热笼，所述隔热笼的下侧与隔热板贴合，所述炉体的内腔顶部安装有驱动隔热笼上下移动的动力装置，所述炉体的本体上开设有环形换热槽，所述支撑架的下方安装有热交换台，本装置冷却液从热交换台的下方导入热交换台的散热腔，然后从散热腔的上端排出，冷却液从下向上流动，可以可以使得水温均匀，进而避免热交换台上端出现过大的温度差。
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公开(公告)号：CN115142129B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202210780266.7
申请日：2022-07-04
申请人： 扬州晶樱光电科技有限公司
摘要： 本发明属于多晶硅加工技术领域，具体为一种用于多晶铸锭炉的气体液体配合冷却装置及方法，包括炉体，所述炉体的内侧设置有保温底板，所述保温底板的上侧安装有热交换台，所述热交换台的上方设置有坩埚，所述保温底板的上方设置有卡在坩埚及热交换台外侧的隔热笼，所述隔热笼的外侧上方及保温底板的下侧均连接有贯穿炉体的承重拉杆，所述隔热笼的外侧设置有支撑板，所述支撑板的下侧安装有环形气管，所述环形气管的一端连接有贯穿炉体的进气管，本装置在初始降温时，环形气管喷出的气流只能吹到热交换台，对热交换台进行降温，当隔热笼的高度升高时，坩埚露出来后，气流也可以吹到坩埚，进而对坩埚进行降温。
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公开(公告)号：CN114959890B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202210693892.2
申请日：2022-06-19
申请人： 扬州晶樱光电科技有限公司
摘要： 本发明属于多晶硅加工技术领域，具体为一种用于硅锭的多晶铸锭炉的热交换系统及其使用方法，包括炉体，所述炉体的内腔底部安装有底板以及驱动底板上下移动的升降装置，所述底板的上侧安装有隔热板，所述隔热板的上方安装有支撑架，所述支撑架的上方安装有坩埚，所述坩埚的外侧套设有隔热笼，所述隔热笼的下侧与隔热板贴合，所述炉体的内腔顶部安装有驱动隔热笼上下移动的动力装置，所述炉体的本体上开设有环形换热槽，所述支撑架的下方安装有热交换台，本装置冷却液从热交换台的下方导入热交换台的散热腔，然后从散热腔的上端排出，冷却液从下向上流动，可以可以使得水温均匀，进而避免热交换台上端出现过大的温度差。
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公开(公告)号：CN115928199A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211377635.4
申请日：2022-11-04
申请人： 扬州晶樱光电科技有限公司
摘要： 本发明涉及工业技术领域，具体为一种单晶硅锭翻转器，包括旋转底盘，旋转底盘上固定安装料桶；旋转底盘上固定安装外翻加热装置，外翻加热装置与料桶啮合接触设置，且外翻加热装置与料桶连通设置；外翻加热装置上安装顶仓，顶仓的顶部固定安装电机，电机的转轴固定安装齿轴；顶仓的顶部固定安装内翻器，内翻器的外侧设置气缸，气缸与内翻器通过连接板连接设置，内翻器与齿轴啮合接触设置。本发明内部维修和保养更简单，加快硅锭热熔速度，但是驱动装置又不受高热损坏，能在不打开顶仓的前提下，中途添加物料，提高硅柱、硅条的生产效率。
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公开(公告)号：CN114645325A
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202210352380.X
申请日：2022-04-04
申请人： 扬州晶樱光电科技有限公司
摘要： 本发明属于多晶铸锭炉技术领域，具体为一种用于生产多晶硅锭的高效多晶铸锭炉及其生产方法，包括加热桶和一号单向模组，所述加热桶的下端设置有支撑板，所述支撑板的本体上侧镶嵌有下加热盘，所述加热桶的上方设置有可以拆卸的加热盖，所述加热盖的内腔中安装有上加热盘，所述加热桶的外侧套设有环形匀热板，所述环形匀热板的数量至少为两个，所述环形匀热板从上往下依次排列，每个所述匀热板的外侧均设置有一号加热电阻和二号加热电阻，在对加热桶进行快速散热的同时，使用本装置可以使得加热桶保留需要的梯度差以及恒温带，进而可以使得多晶硅锭在高速生产的同时，还可以保持良好的质量。
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公开(公告)号：CN117213207A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311187307.2
申请日：2023-09-14
申请人： 扬州晶樱光电科技有限公司
摘要： 本发明涉及单晶硅处理技术领域，具体为一种单晶硅干燥装置，包括烘干仓，烘干仓的外侧安装烘干器，烘干仓与烘干器之间设有通风孔，烘干仓的顶部一侧开设进料口，烘干仓的底部另一侧开设出料口，烘干仓位于进料口的上方安装送料输送带，烘干仓的内部间隔设置分料输送带、第一摊开输送带、第二摊开输送带、第三摊开输送带和出料摊开带，分料输送带、第一摊开输送带、第二摊开输送带、第三摊开输送带和出料摊开带位置依次交错设置，分料输送带、第二摊开输送带和出料摊开带驱动传动连接。本发明设计多条输送带，在输送带上设置摊开条，通过摊开条与输送带的间距收窄，实现单晶硅烘干输送过程中逐渐摊薄，从而加快烘干速度，取得较好的烘干效果。
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公开(公告)号：CN116371806A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310432820.7
申请日：2023-04-21
申请人： 扬州晶樱光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种晶片清洗机，包括晶片清洗机本体、伺服电机、防水电机和驱动电机，所述晶片清洗机本体的底端固定安装有支撑底座，所述晶片清洗机本体的侧面装设有排水管，所述排水管的表面装设有控制阀，所述晶片清洗机本体的顶端内壁固定安装有加热器，所述晶片清洗机本体的内部装设有导水板，所述晶片清洗机本体的侧面装设有进水管，所述晶片清洗机本体的侧面装设有第一电机箱。该晶片清洗机，能够将需要同时进行清洗的多个晶片分开放置，能够通过搅拌扇叶的转动来将清洗用的水进行搅动，产生的水流能够更好地将晶片表面进行冲洗，加热器能够产生热量，通过将晶片放置框进行转动能够方便将清洗完成的晶片进行烘干。
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公开(公告)号：CN114645325B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202210352380.X
申请日：2022-04-04
申请人： 扬州晶樱光电科技有限公司
摘要： 本发明属于多晶铸锭炉技术领域，具体为一种用于生产多晶硅锭的高效多晶铸锭炉及其生产方法，包括加热桶和一号单向模组，所述加热桶的下端设置有支撑板，所述支撑板的本体上侧镶嵌有下加热盘，所述加热桶的上方设置有可以拆卸的加热盖，所述加热盖的内腔中安装有上加热盘，所述加热桶的外侧套设有环形匀热板，所述环形匀热板的数量至少为两个，所述环形匀热板从上往下依次排列，每个所述匀热板的外侧均设置有一号加热电阻和二号加热电阻，在对加热桶进行快速散热的同时，使用本装置可以使得加热桶保留需要的梯度差以及恒温带，进而可以使得多晶硅锭在高速生产的同时，还可以保持良好的质量。
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公开(公告)号：CN115547917A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211197944.3
申请日：2022-09-29
申请人： 扬州晶樱光电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/02 , H01L21/67 , B08B3/02 , B08B13/00
摘要： 本发明涉及工业技术领域，具体为一种单晶硅预处理装置，包括平面板，平面板的一侧固定安装支撑板；支撑板的顶部固定安装喷淋板；喷淋板的顶部固定安装水仓，水仓上设置进水管；平面板上固定安装第一电机；第一电机的转轴端部固定安装第二电机；第二电机的转轴端部固定安装第三电机；第三电机的转轴端部固定安装承接面板，承接面板为连续弯折结构，承接面板包括第一竖板、第二横板和第三竖板，第三竖板位于最底部；承接面板上安装防护机构。本发明承接入料、清洗硅片和输出硅片，在衔接原输送带送料的基础上，完成预处理的硅片冲洗，从而实现硅片的高效冲洗，低成本冲洗，同时大大缩短了转移的行程距和成本。
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公开(公告)号：CN117299263A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311224986.6
申请日：2023-09-21
申请人： 扬州晶樱光电科技有限公司
摘要： 本发明涉及单晶硅锭生产技术领域，具体为一种单晶硅锭研磨器，包括研磨料仓，研磨料仓的内侧同轴设置研磨头，研磨头的顶部固定安装研磨头驱动电机，研磨头驱动电机上固定连接研磨头升降气缸，研磨料仓的底部通过支架固定安装滑动框架轨道，滑动框架轨道内滑动安装往复滑块，往复滑块与研磨料仓的底部排料口密封接触设置，往复滑块的一侧螺纹穿过驱动滑块往复丝杠，滑动框架轨道的端部固定安装往复丝杠驱动电机。本发明通过设计锥形结构的研磨器，可以最大面积的对沙子进行研磨，而且研磨的沙子自动集中下落，沙子下落的时候经过沙子筛网的筛选，可以将还没研磨好的沙子留下来，经过研磨的沙子颗粒细小、分散，热熔速度快。
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