陶瓷基板及其制备方法、微波器件及其封装外壳结构
摘要:
一种陶瓷基板及其制备方法、微波器件及其封装外壳结构。陶瓷基板制备方法包括:采用HTCC工艺制备信号屏蔽通孔被导体材料填充的陶瓷板材,将陶瓷板材研磨至设定厚度作为陶瓷基板,在陶瓷基板上打孔作为信号传输通孔;在陶瓷基板上依次溅射钛层和钯层;然后遮挡预设的吸氢区,未遮挡区域为蚀刻区;在蚀刻区镀铜直至铜导体填充信号传输通孔,然后在镀设的铜层上采用电镀或者溅射的方式依次形成镍层和金层。本发明中在陶瓷基板上预留了仅附着有钛层和钯层的吸氢区,如此可通过钛与氢反应实现自主吸氢,避免氢元素腐蚀元件。本发明避免了烘烤氢及外贴吸氢剂的不良。
0/0