一种氮化铝陶瓷基板及其制备方法
摘要:
本发明提供一种氮化铝陶瓷基板,其由无机粉体烧结获得,无机粉体包括主相材料和烧结助剂,主相材料为氮化铝粉体,其粒径分布按体积百分比包括:0.05‑0.2μm 16.26‑18.93%、0.2‑0.5μm 17.10‑18.21%、0.5‑1μm17.94‑17.96%、1‑2μm 22.55‑23.84%、2‑3.5μm 22.37‑24.86%。上述氮化铝陶瓷基板的制备方法包括如下步骤:将主相材料和烧结助剂球磨获得流延浆料;将流延浆料成型、排胶,在0.1‑0.3MPa的保护气压力下以1760‑1800℃保温烧结4‑6h。本发明通过主相材料和烧结助剂的配合提高了氮化铝陶瓷基板的热导率。
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