一种单色光的干涉测量相位计算方法
摘要:
本发明公开了一种单色光的干涉测量相位计算方法。所述移相干涉采用改变光程差获得不同相位差下的干涉图,利用移相算法,对物体的表面相位进行测量,所述单色光为单一波长的光,所述测量方法是采用时空移相与延拓技术结合的思想,对数帧移相载频干涉图进行延拓,使用时空移相方法求解相位,其在相位求解的步骤主要包括延拓干涉图、对延拓后的干涉图进行采样插值、通过二维离散傅里叶变换求解相位,该方法使用多幅干涉图恢复出物体的相位分布,计算结果对背景光强与调制度波动、移相误差等因素不敏感,且能适应振动环境下的图像处理等需求。
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