摘要:
本发明提供一种基于相变材料的双模干涉2×2光波导开关,包括一硅薄膜基座、一输入波导、一双模混合波导以及一输出波导,其中,硅薄膜基座包括未掺杂区域和重度掺杂区域,双模混合波导中间设有相变材料,输入波导和输出波导分别对称设置于双模混合波导的前后两端,输入波导、双模混合波导和输出波导均设置于未掺杂区域的顶部表面,重度掺杂区域对称地分布于双模混合波导的两侧,且重度掺杂区域分别设有一金属接触区域。本发明提供的光波导开关结构紧凑、尺寸小、消光比高、插入损耗低以及能耗低,具有自保持的特性,以适用于可重构、可多级编程的光子集成电路或光子神经网络中。
公开/授权文献
- CN115308847A 一种基于相变材料的双模干涉2×2光波导开关 公开/授权日:2022-11-08