一种高均匀性铸锭单晶热场结构
Abstract:
本发明公开了一种高均匀性铸锭单晶热场结构,包括炉壳、保温层、加热器、坩埚组件、载物台、底部热门装置、冷却铜板和铜板升降机构,所述炉壳包括上炉壳和下炉壳,且保温层包括上部保温层和下部保温层,同时,加热器包括顶部加热器、侧部加热器和底部加热器,且底部热门装置包括导向盖板、开合叶片、导向销和驱动转盘。该高均匀性铸锭单晶热场结构及使用方法,相对于传统技术,具有以下优点:保温层、坩埚、加热器、散热装置等均为圆形,对称性、均匀性均较方形热场明显提升,有利于生长高品质的铸锭单晶,特殊的圆形热门装置和冷却铜板结合,可根据工艺需求调整散热速率、且散热均匀性更好。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0