Invention Grant
- Patent Title: 一种高均匀性铸锭单晶热场结构
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Application No.: CN202210792365.7Application Date: 2022-07-05
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Publication No.: CN115354390BPublication Date: 2024-01-30
- Inventor: 白斌 , 韩科选 , 李振 , 周春霞 , 徐养毅
- Applicant: 苏州步科斯新材料科技有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市吴江区江陵街道庞金路1801号庞金工业坊综合楼二层
- Assignee: 苏州步科斯新材料科技有限公司
- Current Assignee: 苏州步科斯新材料科技有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市吴江区江陵街道庞金路1801号庞金工业坊综合楼二层
- Agency: 北京宇和舟知识产权代理事务所
- Agent 刘静
- Main IPC: C30B15/14
- IPC: C30B15/14 ; C30B15/10

Abstract:
本发明公开了一种高均匀性铸锭单晶热场结构,包括炉壳、保温层、加热器、坩埚组件、载物台、底部热门装置、冷却铜板和铜板升降机构,所述炉壳包括上炉壳和下炉壳,且保温层包括上部保温层和下部保温层,同时,加热器包括顶部加热器、侧部加热器和底部加热器,且底部热门装置包括导向盖板、开合叶片、导向销和驱动转盘。该高均匀性铸锭单晶热场结构及使用方法,相对于传统技术,具有以下优点:保温层、坩埚、加热器、散热装置等均为圆形,对称性、均匀性均较方形热场明显提升,有利于生长高品质的铸锭单晶,特殊的圆形热门装置和冷却铜板结合,可根据工艺需求调整散热速率、且散热均匀性更好。
Public/Granted literature
- CN115354390A 一种高均匀性铸锭单晶热场结构及使用方法 Public/Granted day:2022-11-18
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IPC分类: